8月22日讯，据媒体报道，新松机器人宣称拟募资18．03亿元主要用于建设半导体领域半导体设备及自动化项目，用于IC真空机械手及集束型设备项目、半导体自动物料搬运系统项目、半导体物料管理控制系统项目以及补充流动资金。

作为国内唯一一家真空机械手的供应商，去年机器人真空机械手已批量应用于北方华创（002371）、中科院微电子研究所等企业和机构，有望在国内全面推广。

图片来源：OFweek维科网

众所周知，新松机器人成立于2000年，隶属中国科学院，是中国第一家从事机器人产业化和实现机器人出口的企业。新松机器人产品线齐全，涵盖工业机器人、洁净机器人、移动机器人、特种机器人及智能服务机器人五大系列。

机器人进军半导体行业是一种挑战

半导体行业包括了众多领域，在这些领域当中又有着很多复杂的工序，比如前期的晶体制造、中期的封装集成，还有后期的组装包装、运输等等。机器人进军半导体行业既是一种挑战也是一种趋势，机器人本身需要具有易使用、性能灵活轻便，不仅要满足无尘空间的等级要求，还要小心易碎的产品，对极为细微的器件需要高度精准地定位、放置和组装。

半导体行业对工业机器人的要求十分严格，在真空环境下，要保证机器人的洁净度，因为半导体产品的特殊性，还要求机器人防震，防抖动，静音生产，能够有精准到5mm的重复定位等等。

进军半导体市场，抓住产业链迁移机遇

随着半导体产业向中国大陆迁移，英特尔、三星等国际大厂陆续在我国大陆地区投资建厂，大陆对半导体领域自动化设备需求提升。

基于此，新松开始进军半导体装备领域：2009年、2011年新松开始承担两大国家集成电路“02专项“项目，加大了对半导体设备的研发；2018年，新松机器人开始设立半导体装备BG，主要面向以芯片制造，面板制造为代表的泛半导体领域，提供设备与自动化解决方案。目前，新松已经成功研发了国内首台具有独立知识产权的新型双臂大气机械手，并且通过了终端用户华创、中微等客户验证。

除了在产品开发上加大力度，新松在资本层面也采取了相应动作。2018年1月，新松以约6．4亿元人民币收购韩国半导体设备企业新盛旗下公司80％的股权。不难看出，通过这些举措，新松希望在下一个行业爆发点来临前抢占先机。

拟募资18亿新建半导体设备

新松此次拟向特定对象发行股票的募集资金总额不超过18．03亿元用于IC真空机械手及集束型设备项目、半导体自动物料搬运系统项目、半导体物料管理控制系统项目以及补充流动资金。

此前新松已研制了系列化洁净真空机器人产品，包括大气机械手系列产品（洁净度达到 Class1）、集成电路装备真空机械手系列产品（真空度达到最高 1×10－6 Pa）。真空直驱机器人打破国外垄断，可以实现直接替代；自动物料搬运系统（AMHS）系统设备主要包括洁净存储系统（Stocker）、 洁净轨道系统、空中无人搬运车（OHT）等，公示可以为半导体工厂提供整套自动物料搬运系统；而新松承接的广州超视堺Mask搬送系统项目，其中也包含ACS系统（类似MCS的系统，规模要比MCS系统规模小）的子订单，具有先天优势。