1961年，Unimation公司生产的世界上第一台工业机器人在美国特伦顿（新泽西州首府）的通用汽车公司安装运行。这台工业机器人用于生产汽车的门、车窗把柄、换档旋钮、灯具固定架，以及汽车内部的其他硬件等。

1962年，美国机械与铸造公司（American Machine and Foundry，AMF）制造出世界上第一台圆柱坐标型工业机器人，命名为Verstran（沃尔萨特兰），意思是“万能搬动”。该年，AMF制造的6台Verstran机器人应用于美国坎顿（Canton）的福特汽车生产厂。

1966年，美国海军使用机器人“科沃”，港至750来深的海底。成功地打捞起一枚失落的氢弹。这轰动一时的事件，使人们第一次看到了机器人潜在的军事使用价值。

1967年，一台Unimate机器人安装运行于瑞典的Metallverken,Uppsland V?sby，这是在欧洲安装运行的第一台工业机器人。

1969年，美国在越南战争中，首次使用机器人驾驶的列车，为运输纵队排险除障，获得巨大成功。

1969年，通用汽车公司在其洛兹敦（Lordstown）装配厂安装了首台点焊机器人。

1969年，挪威Trallfa公司提供了第一个商业化应用的喷漆机器人。

1969年，Unimation公司的工业机器人进入日本市场。

1969年，日本早稻田大学加藤一郎实验室研发出世界上第一台以双脚走路的机器人。

1970年，在美国芝加哥举行第一届美国工业机器人研讨会。一年以后，该研讨会升级为国际工业机器人研讨会（International Symposium on Industrial Robots，ISIR）。

1971年，日本机器人协会（Japanese Robot Association）成立。这是世界上第一个国家机器人协会。

1972年，意大利的菲亚特汽车公司（FIAT）和日本日产汽车公司（Nissan）安装运行了点焊机器人生产线。这是世界第一条点焊机器人生产线。

1973年，第一台机电驱动的6轴机器人面世。德国库卡公司（KUKA）将其使用的Unimate机器人研发改造成其第一台产业机器人，命名为Famulus，这是世界上第一台机电驱动的6轴机器人。

1973年，日本日立公司（Hitachi）开发出为混凝土桩行业使用的自动螺栓连接机器人。这是第一台安装有动态视觉传感器的工业机器人。

1974年，第一台小型计算机控制的工业机器人走向市场。

1974年，第一台弧焊机器人在日本投入运行。日本川崎重工公司将用于制造川崎摩托车框架的Unimate点焊机器人改造成弧焊机器人。同年，川崎还开发了世界上首款带精密插入控制功能的机器人，命名为“Hi-T-Hand”，该机器人还具备触摸和力学感应功能。

1974年，瑞典通用电机公司（ASEA，ABB公司的前身）开发出世界上第一台全电力驱动、由微处理器控制的工业机器人IRB 6。

1975年，Olivetti公司开发出直角坐标机器人“西格玛（SIGMA）”，它是一个应用于组装领域的工业机器人，在意大利的一家组装厂安装运行。

1977年，首届恩格柏格（Engelberger）机器人奖颁布。恩格柏格机器人奖是世界上最负盛名的机器人荣誉。

1978年，美国Unimation公司推出通用工业机器人（Programmable Universal Machine for Assembly，PUMA），应用于通用汽车装配线，这标志着工业机器人技术已经完全成熟。

1978年，日本山梨大学（University of Yamanashi）的牧野洋（Hiroshi Makino）发明了选择顺应性装配机器手臂（Selective Compliance Assembly Robot Arm，SCARA）。这是世界第一台SCARA工业机器人。

1978年，德国徕斯（Reis）机器人公司开发了首款拥有独立控制系统的六轴机器人RE15。

1979年，日本不二越株式会社（Nachi）研制出第一台电机驱动的机器人。

1981年，美国卡内基－梅隆大学的Takeo Kanade设计开发出世界上第一个直接驱动机器人手臂（Direct Drive Robotic Arms）。

1981年，美国PaR Systems公司推出第一台龙门式工业机器人。

1984年，美国Adept Technology公司开发出第一台直接驱动的选择顺应性装配机器手臂（SCARA），命名为AdeptOne。

1984年，瑞典ABB公司生产出当时速度最快的装配机器人，IRB 1000。

1985年，德国库卡公司（KUKA）开发出一款新的Z形机器人手臂，它的设计摒弃了传统的平行四边形造型。

1985年，工业机器人被列入了国家“七五”科技攻关计划研究重点，目标锁定在工业机器人基础技术、基础器件开发、搬运、喷涂和焊接机器人的开发研究等五个方面。

1985年，上海交通大学机器人研究所完成了“上海一号”弧焊机器人的研究，这是中国自主研制的第一台6自由度关节机器人。

1987年，国际机器人联合会（International Federation of Robotics，IFR）成立。

1988年，国际机器人联合会（IFR）发布第一份全球工业机器人统计报告。

1988年，上海交通大学机器人研究所完成了“上海三号”机器人的研制。

1989年，unimation公司出售给史陶比尔（St?ubli）公司。

1990年，工业喷漆机器人PJ-1如期完成。这是我国第一台喷漆机器人。

1992年，瑞典ABB公司推出一个开放式控制系统（S4）。S4控制器的设计，改善了人机界面并提升了机器人的技术性能。

1992年，瑞士的Demaurex公司出售其第一台应用于包装领域的三角洲机器人（Delta robot）给罗兰公司（Roland）。

1996年，德国库卡公司（KUKA）开发出第一台基于个人计算机的机器人控制系统。