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扩散硅压力传感器

扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。扩散硅压力传感器有适合制作小量程的传感器、输出灵敏度高、精度高等特点。 扩散硅压力传感器工作原理:被测介质的两种压力通入高、低两压力室,低压室压力采用大气压或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上,通过查看详情>隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧


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